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2021-06-18






氦質譜檢漏儀的校準方法

(1) 漏率校準① 校準系統的組成

校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。

②示值誤差

通電預熱,待氦質譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準,將一經過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統,運行氦質譜檢漏儀,待漏率示值穩(wěn)定后,可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值,同一標準漏孔測量三次,計算氦質譜檢漏儀示值平均值,從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現小型密封容器產品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。結束后,將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統進行測試,得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。

如果測試結果有較大編差,可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標準漏孔進行測試。

③ 重復性

測量重復性是用實驗標準偏差表征的,本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中,每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次,可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。

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氦質譜檢漏儀測量數據處理

漏率的溫度修正

標準漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ,所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致,需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算,并在測試結果中加以說明,修正方法如下:

方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下,用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值;

方法二: 將標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數計算值。

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氦質譜檢漏儀的進展

(1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。

(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。

(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節(jié)零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。氦質譜檢漏儀由微機控制,菜單的選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。

(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產的檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。

(5)檢漏范圍寬:現今生產的四極檢漏儀,質量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。

氦質譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領域。氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇氦質譜檢漏儀廠家的氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應從以下幾方面考慮:(1)無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害。檢漏儀在使用過程中,往往會因為產生的一些故障或是現象,而影響檢漏工作的正常進度,若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現象是使用者能夠及時解決或避免的,掌握和了解氦質譜檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利開展以及設備的保養(yǎng)。

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